手動探針臺通常由堅固穩定的主體框架、探針支架與探針、承片臺以及顯微鏡等部分組成。主體框架多為金屬材料制成,保障了整個系統的穩定和耐用;探針支架可裝載探針,并能在水平和垂直方向上進行微小移動及調整;承片臺用于放置待測器件;顯微鏡則輔助觀察。
測試人員把要測量的芯片放在承片臺上,借助顯微鏡的放大功能,利用X-Y移動機構找到需探測的位置。之后,通過旋轉探針座上的X-Y-Z三向旋鈕,操控前部的探針(射頻或直流探針)準確地扎到被測點。當探針接觸到被測點后,便建立起電氣連接。此時,可以將信號源接入,向芯片施加準確的電壓或頻率信號。同時,使用高精度示波器等檢測設備,對芯片產生的電信號進行細致分析,以此準確評估芯片的電參數和整體性能。
手動探針臺的使用注意事項:
1.穩定性保障:在使用手動探針臺時,要確保其底座穩固并可靠固定,以避免不必要的晃動或移位,從而保證測量的穩定性和準確性。
2.高度調節適宜:根據測試目標,合理調整手動探針臺的高度,使得探針能夠輕松接觸到測試點。通??梢允褂檬謩有o或升降裝置來調整高度。
3.準確定位操作:對于微小尺寸的測試點,可以使用顯微鏡或放大鏡來輔助準確定位,確保探針準確地接觸到所需測量的位置。
4.謹慎控制施力:在接觸測試點時,嚴格控制施加到探針上的力度,避免因過度施力導致測試點損壞,或因施力過輕造成不良接觸。
5.遵守安全規范:在使用探針臺時需要遵守使用手冊內的各項安全條例,如避免潮濕場所、禁止在高溫環境下使用等;運輸時應先拔掉電源線插頭,并使用專門的包裝箱,避免碰到探針臺的任何運動部件。
6.日常維護保養:使用完后需要注意保持設備清潔,盡量把灰塵吹干盡,以免灰塵影響機械精度和電氣性能;定期檢查設備的各部件是否正常工作,及時發現并排除潛在故障。