產品中心
Product Center
產品簡介
                  持久型小型濺射儀,石英玻璃腔體,濺射距離可調節,外接水冷機可持久濺射,觸摸屏控制,濺射時間工藝記憶儲存。
| 品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求通氣 | 
|---|---|---|---|
| 樣品臺尺寸 | 50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 | 
| 樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm | 
| 靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 等 | 價格區間 | 面議 | 
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 | 
持久型小型濺射儀
一般的濺射法可被用于制備金屬、半導體、絕緣體等多材料,且具有設備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強等優點,
磁控濺射法更是實現了高速、低溫、低損傷。因為是在低氣壓下進行高速濺射,必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場,利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率。
需要鍍膜的樣品
1、電子束敏感的樣品:
主要包括生物樣品,塑料樣品等。SEM中的電子束具有較高能量,在與樣品的相互作用過程中,它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對電子束敏感的材料,那這種相互作用會破壞部分甚至整個樣品結構。這種情況下,用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護層的作用,防止此類損傷;
2、非導電的樣品:
由于樣品不導電,其表  面帶有“電子陷阱",  這種表面上的電子積累  被稱為“充電"。為了  消除荷電效應,可在樣  品表面鍍一層金屬導電  層,鍍層作為一個導電  通道,將充電電子從材  料表面轉移走,消除荷  電效應。在掃描電鏡成  像時,濺射材料增加信  噪比,從而獲得更好的成像質量。
持久型小型濺射儀廠家供應技術參數;
控制方式  | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制  | 
濺射電源  | 直流濺射電源  | 
鍍膜功能  | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序  | 
功率  | ≤1000W  | 
輸出電壓電流  | 電壓≤1000V 電流≤1A  | 
真空  | 機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa  | 
濺射真空  | ≤30Pa  | 
擋板類型  | 電控  | 
真空腔室  | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm  | 
樣品臺  | 可旋轉φ62 (可安裝φ50基底)  | 
樣品臺轉速  | 8轉/分鐘  | 
樣品濺射源調節距離  | 40-105mm  | 
真空測量  | 皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa)  | 
預留真空接口  | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口  |